继续当你们的好学生。”
“老师们,快回来了。”
一个月后。
A区,一号核心实验室。
那台从日本运来的光刻机,已经组装完毕,正在进行最后的调试。
藤原敬介和他的团队,占据着机器的核心操作区。
钱建华带来的三十六个人,被分散在各个辅助岗位上,记录数据,更换耗材。
实验室里,只有机器运转的低鸣,和藤原敬介偶尔发出的日语指令。
“佐佐木,五号监控口的压力值,为什么会偏离百分之零点一?”
一个叫佐佐木的年轻工程师,立刻小跑过去,检查仪表。
“藤原先生,在允许的误差范围内。”
“我要的是完美,不是允许。”
藤原敬介的声音,冷硬得像一块铁。
佐佐木的身体僵了一下,弯腰道歉。
“是,非常抱歉。”
在实验室的另一头,林伟坐在计算机终端前。
他的眼睛,盯着屏幕上滚动的代码和数据流。
这些天,除了打下手,他把所有的时间,都用在了建模上。
用他们带来的数据,模拟这台光刻机的每一个工作流程。
屏幕上,一个红色的警报框,跳了出来。
林伟皱起眉,重新输入参数,再次运行。
十分钟后。
同样的红色警报框,再次出现。
他换了三种算法,推演了四遍。
结果,都指向同一个结论。
林伟站起来,快步走到钱建华身边。
钱建华正在一块白板前,记录一组刚刚测试出来的光谱数据。
“钱教授。”
林伟的声音压得很低。
钱建华放下笔,转过身。
“怎么了?”
“模型。”
林伟指了指不远处的计算机。
“我用他们给的工艺参数,模拟了第三道蚀刻工序。”
“良品率,存在一个理论上限。”
“无论怎么优化参数,调整功率,都无法突破这个上限。”
钱建华的目光,动了一下。
他跟着林伟,走到那台计算机前。
林伟把模拟过程,又演示了一遍。
钱建华看着屏幕上的曲线图,那条无论如何都无法再往上攀升的曲线。
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