从光刻的接触方式,原有的掩膜版和光刻胶的物理接触会摩擦损伤掩膜版的寿命。
灰尘颗粒也会导致生产缺陷,胶膜更是在压力下变形,这些都是限制精度提升的原因,或许可以尝试分离开一段距离,但是不接近.”
周志强将接下来准备研发的项目方向,详细的跟赵成辉他们讲了另一种光刻工艺。
上次他想说来着,不过那时候时间紧任务重,能将硅晶管制造出来已经很不错了,之后还有集成电路要研发制造,所以光刻工艺就没关。
但现在想要制造出专属复合加工数控机床的集成数控系统,就要高性能的集成电路.光刻工艺的提升也是避不可免的。
周志强一边说还一边拉过来一份黑板,一边说一边给技术科内的所有人示意起大致原理。
“改变接触方式?不接触怎么曝光,而且光纤穿过掩膜版的缝隙,光就会发生衍射”
林工开口问道:“这个距离怎么控制,恐怕只有十几微米到几微米之间吧,周厂长,不容易实现吧?”
“是不容易,但不是完全不可能,而且用这种光刻工艺,哪怕精度只有一小部分进度,但却可以在生产效率上大大提升”
也不太需要追求极致到几微米的精度,现在确实实现不了,但只要比之前的精度有提升就行。
他们可以一步一步的提升,但这个光刻工艺可以凭借高精度的机械系统,实现半自动化生产,单单生产效率就能提升几十倍甚至更多。
周志强还有点私心,那就是新研发出来的光刻工艺也用在数控分厂。
以后数控分厂能发展起来厂内自己科研力量和技术储备,就不用一直盯着一九零厂了。
周志强始终觉得掌控在自己手中的才是最好的,要不然他也不至于把数控分厂建的那么大,而且单单是技术科未来三年的规划,就要满四十人。
接下来单单讲新的光刻工艺技术原理,周志强就用了不少时间,主要是技术科内林工和李工等人虽然理解了,但是觉得以现在的条件不太可能做到。
就算做到了,精度提升空间也受限机械系统的精度,难以达到理想的光刻状态。
不如从其他方向突破,这样还有可能达到预期目标。
但周志强还没说话,这个提议便被赵成辉给否定了。
这将近一年的时间,他们不是没往其他方向努力过,但实验了很多次、还和其他研究所进行和合作实验,依旧没能取得有效的成果。
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