提升到了180纳米左右。
前世的漂亮国在1988年投入首飞的B2隐形轰炸机,上面搭载的芯片就是192纳米制程。
“......是啊。国家在工业上欠缺得太多了。落下的‘课程’不知道要多久才能补完?”
徐国士油然叹息道。
“徐老师,我再给你透露一个西方光刻机研究的绝密情报。西方研发气体激光器的方向暂时是在氟化氪上面。据说氟化氪激光器的最大分辨率能够达到180纳米。他们更提出了氟化氩这个预研方向。据说氟化氩激光器的最大分辨率可以达到45纳米。我想这个消息应该对你具有一定的参考价值。”
陈国泰略微想了想,语气很是认真地对徐国士说道。
氟化氪光源是第三代光源,氟化氩是第四代。
虽然西方世界很大可能才刚开始研究氟化氪,氟化氩还连影子都没有,但并不妨碍陈国泰将这个消息提前透露给国家知道。
“真的吗?小陈,你提供的这个消息如果是真的,那价值就太重大了!我们正在探索怎么在氦—氖激光器基础上继续改进,你这一下子就指出了明确方向......”
徐国士一下子激动起来,目光灼灼地盯着陈国泰说道。
“徐老师,情报是这样,但具体是不是,还得你们进行仔细验证。”
陈国泰立即语气谨慎地说道。
虽然他无比笃定氟化氪光源从九十年代初期开始大行其道,氟化氩在二十一世纪初得到实际应用,直到2016年才被极紫外激光取代,但他也不可能在当下把话说死。
“嗯,实验各种材料很麻烦,也很费资源,但要验证某种材料好不好,还是比较简单。小陈,谢谢你,谢谢凤凰集团。”徐国士满脸感激地说道。
“徐老师不用客气。咱们之间的合作协议达成之后,研发出来的技术是永久共享。你们找到正确道路并投入运用,对我们凤凰集团同样有好处......再说了,从此之后国内光刻机的研发试制都由我们凤凰秘密提供资金。这也是给我们自己省钱......”
陈国泰摆了摆手,谦逊地说道。
说到最后,陈国泰的嘴唇动了动,想要说出光刻机在未来的三大创新——步进式扫描投影、双工件台配合、浸没式光刻。
不过他终究还是没有将其说出来。
就现在的情况,他都已经非常确定,只要凤凰集团拿到国内现阶段光刻机的所有设计图纸,再用港城的
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