辨率0.8微米,实际有效分辨率可以达到1.25微米……”
“这性能不错,咱们要两台!”
两台!
光刻机这东西,那都是手工生产的,哪怕后世光刻机巨头阿斯麦,最先进的EUV光刻机,一年的产能也不过几十台,对华清大学精密仪器系来说,这两台光刻机,够手搓好几个月的了。
“太好了,我们只报成本价……”
秦亮摇头:“不,咱们不占你们华清大学的便宜,国际市场上售价多少,咱们就给多少。”
众人都是一阵兴奋。
“谢谢,太谢谢你了!”徐教授一下子站了起来,握住了秦亮的手:“有了你们的这笔费用,我们就能研发分步投影光刻机了!”
秦亮笑了笑:“这第一台分步投影光刻机,我们也要了!我们还会把全款给你们,你们抓紧时间……到年底前,能给我们研制出来吗?”
东方的半导体工业,已经追赶上来了,绝对不能拖延!有了西工大的这笔经费,就能达到和世界同步水平!
芯片产业的这个短板,要被补上了!
“好!”徐教授点头:“这一年,我就不回家了,天天住在9003……各位,你们想现在去看看吗?”
“好啊。”
今天这会议,就是协商在资金减少的情况下,如何继续搞光刻机开发的事情,现在,不用发愁了!西工大的资金注入,足够让他们完成新的光刻机的开发!
原本需要85年才能问世的分步投影光刻机,81年就能搞出来,和世界同步!
大家伙向实验室而去,穿上防护服,通过了防尘通道,进入到了9003实验基地。
那台参加过巴黎工业展的光刻机,就摆在实验室的中央,这里的温度常年保持在20摄氏度上,正负不能超过0.1摄氏度,防尘标准100级,在1立方米的空气中,浮尘微粒控制在100粒以下……甚至这里的震动幅度,正负不能超过2微米!
其实,想想也知道,你雕刻个1.25微米的硅片,光刻机上下震动一下,哪怕2微米,那雕刻出来的肯定是废品啊!
这要求,就足够体现出来它有多么的高大上了。
秦亮看着这台机器,神情复杂。
“接下来,分步投影光刻机绝对不能对外展示。毕竟,吃过一次亏了,绝对不能吃第二次,如果有上级领导要把机器弄出去炫耀,那就……通知林老。”
78年展示,吃
本章未完,请点击下一页继续阅读!