边则是光滑完美、如同艺术品的修正结果。
“钟耀祖团队,基于其强大的AI算法底蕴,开发了‘女娲’AI-OPC系统。
基于自研异构计算架构和新算法,在处理N+1复杂度版图时,计算效率已达国际主流工具95%,且在特定图形补偿精度上有5-10%优势。
自研工具与自研PDK的深度定制优势,是外购工具无法比拟的。
另外它采用深度强化学习与生成对抗网络(GAN)结合的方式,不再是机械地遵循规则,而是‘理解’光刻机的成像物理过程,直接生成最优的校正图形。”
陈默展示了一组震撼的数据:
“在BalOng 5000的某个关键层,采用‘女娲’系统,将OPC计算时间从传统的14天缩短到18小时,同时校正精度提升40%,有效预测并规避了3处潜在的光刻热点。
这意味着,我们不仅能更快地拿到可生产的掩膜版,更能从源头提升流片良率。”
孟良凡激动地直接站了起来:
“18小时?!陈总,你确定这是基于我们N+1工艺复杂规则的结果?
这......这简直是奇迹!”
作为工艺专家,他太清楚这背后意味着什么了。
陈默淡然一笑:
“孟教授,奇迹源于积累。
‘女娲’系统的训练,离不开张哲博士3D EM引擎提供的精确电磁场数据,以及李维明博士团队提供的器件物理边界条件。
是他们夯实了基础,钟耀祖的AI才能挥洒自如。
系统的训练也是近期才完成的。”
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