端的探测器疯狂刷新着数据,屏幕上跳出一行行代表“曝光能量密度”、“线宽均匀度”、“图形套刻精度”的数值。
每一个数字都在朝着合格的方向靠近!
0.5秒的时间,却像一个世纪那么漫长。
当曝光完成的提示音在控制室内响起时,汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出,送往检测室。
一行人都跟了过去,连脚步都变得急促起来。
在精密的EUV掩模版检测仪下,当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时,现场彻底沸腾了。
线条细如蛛丝,却没有一丝断裂或模糊,每一个晶体管的轮廓都精准得如同复刻。
光刻机的运行原理就像印刷机,又像照相机,只不过它所运用的‘画笔’和‘画板’都更为精细。
“成了!真的成了!”
汪象朝喃喃低语,双手在发抖,嘴里发出‘呵呵呵’的笑声,压抑中带着亢奋。
不一会儿,笑声变得呜咽。
他今年五十九岁,在EUV光源领域已经摸爬滚打了大半辈子。
曾经的他,眼看着自己的人生快要走到尽头,连EUV光源的技术突破也渐渐看不到希望,心里满是无力。
可谁曾想,星源科技会在这时横空出世,不仅打破了僵局,更给华国自主研发光刻机带来了全新的希望。
如今造出了EUV光刻机和烛龙 G1051五轴联动数控机床,往后华国芯片产业和高端制造业,总算不用再看别人脸色了!
汪象朝抹了把脸,想把激动的泪水憋回去,可嘴角却控制不住地往上扬,最后索性也不掩饰,任由泪水顺着脸颊往下淌。
这眼泪里,有大半辈子的遗憾,更有苦尽甘来的畅快。
林南见状,拍了拍他的肩膀,温言劝慰道:“汪工,咱们没白等,也没白干!”
站在人群里的梁劲松一脸唏嘘,他暗暗打量着陈延森,默默给出评价:妖怪级别的天才!
要知道,世界上大部分的技术突破,都需要一代人、甚至是几代人的积累,可陈延森硬是在二线的技术栈上,拿出了行业顶尖的方案。
220瓦、分辨率小于12纳米、0.33数值孔径的光学设计,每平方厘米可容纳约800亿个晶体管,绝对可以支持10纳米和7纳米节点的EUV量产需求。
陈延森微微一笑,这台EUV光刻机便是他的新筹码。
毕竟森联资本涉足的行业
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