辅助光刻机里,KRF光刻机是最受半导体厂商欢迎的,价格便宜,性能也够用……不过KRF光刻机就算便宜,但是也要七八百万美元一套。
而上述这些前道光刻机,只是整个晶圆厂所需要的诸多设备的其中一个类型而已。
然后还有后道光刻机,蚀刻机,例子注入机等……这些半导体关键设备的价格也是动不动就几千万美元的!
其中几百万的设备,那都算是便宜货了!
上述诸多昂贵的设备,再加上高级别的工厂建设费用等等加起来,就导致了先进半导体工厂的投资成本极为夸张。
智云微电子投资一座月产能五万片的五纳米工艺晶圆厂,其投资规模能够达到两百亿美元以上!
豪横如智云集团,也不可能说花费了两百亿美元建设一家采用HEUV-300C光刻机为核心设备的先进晶圆厂,只让它制造七纳米或五纳米工艺的芯片啊……总得想办法让它制造未来的三纳米工艺的芯片,争取提升工厂的高利润寿命期啊。
海湾科技的王道林继续报告道:“今年我们的两种EUV光刻机预计年出货量三十台,等到明年的时候,我们会加大产能,以期出货量能够达到四十台,其中的HEUV-300C光刻机成为出货主力,以满足智云微电子对先进EUV光刻机的庞大需求。”
徐申学翻看了智云微电子的扩充产能计划,微微点头,一年四十台的EUV光刻机出货量,也算是够用了,能够在满足先进工艺的逻辑芯片生产需求的同时,也能够供给部分EUV光刻机用于内存芯片以及闪存芯片的生产了!
智云微电子,可不仅仅是在逻辑芯片领域里采用EUV光刻机,还在内存芯片领域以及闪存芯片领域里都开始采用EUV光刻机呢,对EUV光刻机的需求量是非常大的。
海湾科技那边一年三四十台的EUV光刻机产能,智云微电子一家其实就能给包揽了,只给了国内的其他厂商留下了少量产能。
光靠智云微电子一家,就足以养活海湾科技了。
除了EUV光刻机外,王道林还报告说,海湾科技预计今年还将会出货DUV浸润式光刻机六十台左右,这个级别的光刻机除了智云微电子外,国内其他半导体厂商订购的也非常多,其中的HEUV-600B型号这款成熟,性能可靠,价格也不错的光刻机销量很不错。
DUV干式光刻机的销量比较少,只有十五台。
倒是KRF光刻机作为一种辅
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