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第三百一十章 未来的万亿美元市场

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  徐申学调控整个仙女山控股下属的半导体设备,材料研发体系,甚至动用自己的人脉关系,影响力以及其他资源,进而加速了DUV浸润式光刻机的大规模量产。

这让海湾科技的HDUV-400型光刻机的量产速度出现了提升。

“今年,我们将会确保为国内各芯片厂商提供至少五十台HDUV-400光刻机量产型,用于各厂商的芯片生产,同时将会再生产至少五台HDUV-500型光刻机的试产型号,用于智云微电子,中芯两家厂商的的测试,研发工作!”

“为了确保能够做到这一点,我们还将会进一步加大人员的招聘,培养力度!”

海湾科技的CEO王道林,为徐申学如此描绘今年光刻机领域里的生产以及研发情况。

“目前我们已经初步解决了500型光刻机的套刻精度问题,在子系统的测试中已经能够做到稳定三点五纳米的精度,可以支持十四纳米工艺的量产。”

“接下来我们将会试制一台样机进行整机测试,并在第三季度开始交付首台测试样机给智云微电子方面!”

“而更进一步的光刻机研发中,我们正在搞套刻精度两点五纳米,用以未来支持七纳米工艺的600型号,目前虽然还遇到了一些技术难题,不过我们正在加大力度进行转向的技术攻关,我们争取在未来的两年里解决这个技术难题。”

“只要解决这个两点五纳米的套刻的技术难题,那么我们的光刻机就能够进行高效的,高良率四重曝光,而高良率四重曝光技术则是可以用于等效七纳米工艺的大规模量产!”

“尽管我们和ASML还存在一定的技术差距,但是这种技术差距并不是不可跨越的,毕竟我们已经解决了最难的镜片以及光源部分,还解决了双工作台问题,如今我们只需要稳扎稳打,持续的进行技术优化,逐步提升,就能够把这个套刻精度逐步提升起来!”

徐申学道:“如此看来,我们的DUV浸润式光刻机应该是稳了,未来七纳米工艺也问题不大了。”

“那么七纳米工艺以下呢?我们正在搞的600型光刻机能否进一步突破极限,做到等效五纳米的芯片?”

王道林此时道:“七纳米工艺问题不大,而五纳米工艺的话虽然理论上可以通过多重曝光,比如八重曝光,使用现有DUV浸润式光刻机的134纳米波长的光源,也能用来制造等效5纳米工艺的芯片。”

“但是这需要光刻机提供更高的套刻精度,这样才能


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