纸上画出一个简易的流程图:“我建议,在预处理阶段,增加一道高温退火工序。温度控制在1200摄氏度,保温两小时,让衬底表面的应力充分释放。然后再进行清洗,这样就能从源头上解决问题!”
技术负责人凑过来看了一眼,恍然大悟:“对啊!我们怎么没想到这一点!张博士,你这一下就点醒了我们!”
“事不宜迟,立刻调整实验方案,今晚就做实验!”张远方大手一挥,语气斩钉截铁。
夜幕降临,实验大楼里依旧灯火通明。
外延生长炉的温度,缓缓攀升到1200摄氏度。通红的炉膛里,碳化硅衬底静静地躺着,接受着高温的淬炼。张远方和技术团队的成员们,守在监控屏幕前,眼睛一眨不眨地盯着各项参数的变化。
时间一分一秒地过去,每一秒都显得格外漫长。
两小时后,退火工序结束。衬底被取出,经过清洗、烘干,送入外延生长炉。
气体流量精准调控,温度缓慢上升,外延层在衬底表面,一点点地生长。
监控屏幕上,代表平整度的曲线,渐渐变得平稳、光滑,波动范围,稳稳地控制在了0.05微米以内!
“成了!成了!”技术负责人激动地大喊起来,声音里带着哭腔。
实验室里,一片欢呼雀跃。
张远方看着屏幕上的曲线,长长地舒了一口气,紧绷的肩膀,终于松弛下来。他转过身,看到站在门口的黄江北,脸上露出了疲惫却灿烂的笑容。
黄江北快步走上前,紧紧握住他的手:“张博士,辛苦了!谢谢你!”
“这是我们团队一起努力的结果。”张远方摇了摇头,随即又想起了什么,“对了,黄市长,我那两个师弟,已经答应来沪上了!他们明天就到!”
“太好了!”黄江北的脸上,满是喜悦,“我已经让人安排好了办公室和实验室,就等他们来大展身手!”
窗外,夜色正浓,星光璀璨。
实验大楼的灯光,如同夜空中最亮的星,照亮了沪上科技创新的道路。
张远方看着身边欢呼的团队成员,看着眼前意气风发的黄江北,心中涌起一股强烈的自豪感。他知道,这只是一个开始。在沪上这片热土上,他们还有更多的难题要攻克,还有更长的路要走。
但他更相信,只要他们齐心协力,就没有跨不过的坎,没有攻不破的关。
第三代半导体的量产之梦,正在这片土地上,缓缓绽放。
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