变成可能。”
凌晨三点,胶配好了。
淡黄色的粘稠液体装在棕色玻璃瓶里,看上去平平无奇。但车间里所有人都知道,这瓶东西,关系到未来三天二十片晶圆的命运,关系到“长城1号”能不能从图纸变成实物,关系到他们这三个月没日没夜的挣扎,到底有没有意义。
“开始涂胶。”陈启明下了指令。
第一片晶圆,直径三英寸,表面抛光得像镜子一样的硅片,被小心地固定在涂胶台的吸盘上。
操作工小周今年才十九岁,三个月前还在车间学钳工。现在,他的手要控制这台老旧的涂胶机,在硅片上涂出厚度只有一微米、均匀得像湖面一样的光刻胶膜。
他手在抖。
“小周,”赵四走到他身边,“还记得我第一天跟你说的话吗?”
小周抬起头,脸色发白:“记得……您说,我洗的每一片硅片,将来可能用在导弹上,用在飞机上……”
“不是可能。”赵四纠正他,“是一定。你今天涂的这片胶,会成为中国第一颗自主芯片的一部分。将来这颗芯片用在哪里,做什么,都从你这一涂开始。”
小周深吸一口气,用力点头:“赵总工,我……我尽力。”
“不是尽力。”赵四看着他,“是必须。相信自己,相信这三个月你练的那几千遍。”
小周咬紧牙关,按下启动钮。
吸盘旋转起来,越来越快。光刻胶从滴管落下,在离心力作用下迅速摊开,形成一层薄薄的膜。转速、温度、时间……所有参数,小周已经烂熟于心。
涂胶完成。薄膜均匀,没有气泡,没有条纹。
“漂亮!”陈启明凑到显微镜前看了一眼,忍不住赞叹。
小周这才发现自己后背全湿透了,腿一软,差点坐地上。旁边的老师傅赶紧扶住他,拍拍他的肩:“小子,行啊!”
这只是第一步。
涂胶、前烘、对准、曝光、显影、后烘……光刻这一道工序,就有七个关键步骤。每个步骤都可能失败,而一旦失败,这片晶圆就废了,三个月的等待,无数人的心血,都废了。
陈启明亲自操作光刻机。
这台六十年代的东德老设备,经过张卫东团队的改造,加装了简易的数控系统。但核心的光学系统还是原来的,分辨率有限,对准精度也有限。
“掩膜版对准。”陈启明眼睛贴在显微镜上,手轻轻转动微调旋钮。
掩膜版
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